機械行業采用電子束加工小孔的特點
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五金衝壓編輯 來源：本站原創 發布時間：2018-04-12T15:49:43 瀏覽量：
電子束加工是在真空條件下,利用聚焦後能量密度極高的電子束,以極高的速度衝擊到工件表麵極小麵積上,在極短的時間內,其能量大部分轉變為熱能,使被衝擊部分的工件材料達到幾千攝氏度以上的高溫,從而引起材料的局部氣化,被真空係統抽走。目前,已能加工直徑小於3um的孔,對微電子學領域裏許多零件的打孔特別有利,是微小孔加工工藝中不可缺少的一種加工方法。
電子束加工的特點
①從理論上講,電子束加工可以加工直徑小於1um的小孔。同時,電子束聚焦後的最細部分的長度是其斷麵直徑的數十倍,所以適用於加工小深孔
②電子束的強度和位置極易由磁場和電場來控製,所以,易於進行程序控製,實現自動化高速打小孔③電子束打小孔時,作用力小,應力及變形很小,在脆性材料、韌性材料、導體及非導體上均可使用
④電子束打小孔是在高度真空中進行,幾乎完全避免了空氣中加工的氧化現象,特別適於在易氧化的材料及純度要求極高的半導體材料上打小孔
⑤電子束打小孔要求數萬伏特的加速電壓和抽高度真空的k8凯发体育app,k8凯发体育app較複雜,價格較貴,因此,在生產應用中有一定的局限性,目前,主要應用在微電子工業領域。
